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电子束高斯平面像上形成最小弥散斑直径会越大
所属分类：显微镜百科 点击次数：200 发布日期：2022-06-20
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电子束高斯平面像上形成最小弥散斑直径会越大透镜孔径半张角 扫描电镜透镜半张角是影响其电子束束斑直径的关键因素之一．其对色差、球差和衍射效应形成的扩散斑直径都会有重要影响。半张角越小．其色差和球差就相应越小；．在相同的束流大小和电子枪亮度的情况下．半张角越小．电子束在高斯平面像上形成的最小弥散斑直径就会越大．从而显著降低其最终分辨率。因此．要想得到最小束斑直径，必须平衡各种影响。选择一个合适的半张角。表1．1为不同球差系数和加速电压下．理论计算的更佳半张角值。 (1)单电子激发。入射电子和固体内电子碰撞．使其发生电离或激发到真空能级；即价电子激发和内层电子激发。受激的价电子可以成为游离态的自由电子．二次电子中的绝大部分是由它们组成。金属和半导体的价电子也可以从导带中较低的能态跃迁到较高的空态．称作带内跃迁；或是从价带跃迁到导带．称为带间跃迁，产生电子一空穴对。内层电子受激脱离束缚能，留下空穴．对具有三能级以上原子，会或发生俄歇跃迁．发射俄歇电子；碰撞过程中，产生价电子激发的概率远远大于内层电子激发的概率。一般来说，在价电子激发过程中，入射电子的能量损失相对于其能量来说较小．发生大角度散射的概率也很小，因此价电子激发不会使入射电子的方向发生显著变化。内壳层电子激发中尽管可能有大的能量损失，但其电离截面很小．因而使电子发生大角度散射的概率也不大。
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