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微加工器件的材料结构-粗糙度和反射率
所属分类：显微镜百科 点击次数：116 发布日期：2022-06-20
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微加工器件的材料结构-粗糙度和反射率 表面和界面 微加工器件的材料结构。薄膜与基片，以及薄膜之间的界面对结构的稳定性非常重要。晶圆片在加工过程中要经历多次热处理，会对界面产生不同的化学和物理作用，微结构示意图中的材料和界面 基片表面物理性能(如粗糙度和反射率)与材料和加工工艺有关。基片表面的化学特性极其重要：很多表面覆盖了一层自然氧化膜(例如硅、铝和钛容易在表面生成氧化层)或残余薄膜。吸附的气体和潮气均会通过改变黏附性或成核性能而影响工艺。 厚基片并不能免于受薄膜的影响：一层几十纳米厚的薄膜可以产生很高的应力，足以使500μm厚的硅晶圆片弯曲；或在相当适中的热处理过程中，表面微小的铁污染可扩散穿过500μm厚的晶圆片。
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