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高精度和分辨率依赖于编码器测量位置精度和分辨率
所属分类：显微镜百科 点击次数：196 发布日期：2022-06-20
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高精度和分辨率依赖于编码器测量位置精度和分辨率运动控制的高精度和分辨率严重依赖于编码器测量的位置精度和分辨率。这些因素反过来又受该编码器制造技术的限制。迄今为止，线性光学编码器光栅尺可以制造出不到4μm的不同间距。但很明显，在制造过程中间距进一步减少，要受物理因素极大的制约。这意味着目前实现的lμm光学分辨率是四倍插值后得到的。使用模拟插值软件技术引起了人们的兴趣，可以进一步地提高编码器的分辨率，可以在线处理编码器模拟信号产生小中间位。 这种方式获得的相关位置信息的误差源可分为间距误差和插补误差。间距误差是由于制造比例公差和安装失真产生的。它们一般可以通过几何误差补偿同样的程序进行补偿。与插值误差相联系的间距内细分精度将影响所有完成的校准结果。编码器的理想信号是一对正弦波，它们之间具有正交相位差。插值处理这些成对的正弦波幅度和相位的相对差。如果插值计算时，这个周期对信号偏离理想波形，插值误差将会出现。插补前必须纠正这些偏差，采用数字信号处理技术减少插值误差。
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