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微型化传感器的尺寸-集成化微电子检测显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：123 发布日期：2022-06-20
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微型化传感器的尺寸-集成化微电子检测显微镜集成化是指借助于微电子和MEMS(Micro Electro—Mechanical System，微机电系统)技术中的微细加工技术(如光刻、腐蚀、蒸镀、电火花加工、线切割以及LIGA工艺等)，将单一功能的传感器与其他传感器或执行器、信号处理元件以及电路集成在一起，甚至一个芯片中，使之成为一种全固体化的功能器件。 多功能是指将原本多个传感器完成的功能集成在一个传感器中，使之具有更多的功能。传感器的多功能化通常是在集成化的基础上实现的。 微型化是指传感器的尺寸极度缩小，典型的有各种MEMS传感器。由于尺寸向微小型化发展，使得传感器不仅具有体积小、功耗低等常规传感器所不具备的特点，而且由于尺度效应，能够呈现许多新的物理性质，因而MEMS传感器能被用于许多特殊的场合。
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