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保定标题：试样表面粗糙度适合用何种仪器来测定
所属分类：新闻资讯 点击次数：216 发布日期：2026-04-21
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试样表面粗糙度适合用何种仪器来测定
扫描电子显微镜
在扫描电镜中，入射试样的电子与试样原子相互作用，
从试样激发或电离产生各种信号，
这些信号都可作为成像信号.由于二次电子能量低(50eV以下)，
只有距试样表面很近(约100?)的表层产生的二次电子才能溢出试样.
被激发出的二次电子量的多少，主要与试样表面的凸凹有关。
故二次电子象衬度主要反映试样表面的形貌特征和光学显微镜比较，
扫描电镜突出的特点是二次电子象富有很强的立体感;
具有较高的分辨能力(扫描电镜、透射电镜、光学显微镜
的分辨率分别为I00?,10?大和0.2um)和较大的焦深，
对于表面起伏较大的试样，在扫描电镜二次电子图像上
可以同时聚焦清楚。它是对物质表面缺陷研究的一种有效手段