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保定标题：TEM电子显微镜实验试样制备步骤简介-金属研究
所属分类：新闻资讯 点击次数：235 发布日期：2026-04-21
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TEM电子显微镜实验试样制备步骤简介-金属研究
TEM 之俯视图(plan-view)试样制作步骤如下：
（1） 首先使用热熔胶将试样固定于载玻片上，薄膜面与载玻片相贴。在热熔胶
未凝固时适度的移动样品使残留气泡排出。
（2） 使用水砂纸，依照粗细度号数由小到大(数码越小，砂纸越粗，号码分为
120，400，800，1200，1500，2000)研磨样品至 20 μm 以下。要注意在研
磨时必须将上一号数砂纸的刮痕抹除后才可换下一号数的砂纸继续研磨，并且
要更换不同之研磨方向。
（3）使用钻石砂纸抛光，依照号数 2 μm、1 μm、0.5 μm 之顺序更换砂纸， 直到
完全消除试样上的刮痕为止，其目的是为了减小试样上的残留应力。
（4）使用 G1 胶将铜环固定在研磨完成的试样上，之后放入加热炉中加热 30 分钟
使 G1 胶硬化。
（5）将超出铜环部分的试样清除，之后将完成的试样从载玻片上取下并浸泡于丙酮
中，持续浸泡，目的是清除试样上因上述步骤所造成的脏污并保持试样之清洁。
（6）将浸泡在丙酮中之试样取出，使用离子薄化机(ion miller)进行试样薄化。首先
需使用高角度(8°)轰击试样直至试样中央刚好出现一小破洞后，在使用小角度(4°)将薄区修大。
（7）最后将试样取出并放置于光学显微镜下观察试样破洞，若在破洞边缘出现彩虹
般之七彩干涉条纹及代表此区就是薄区，之后即可放入 TEM 下观测， 反之则
必须继续使用小角度轰击试样直至薄区出现为止。
使用场发射枪穿透式电子显微镜(field emission gun transmission electron microscope，FEG-TEM)
来观察薄膜的平面微结构