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保定标题：电源测量仪器-金属材料或元件特征分析工具显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：234 发布日期：2026-04-21
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电源测量仪器-金属材料或元件特征分析工具显微镜
进行任何材料或元件特性分析，非常需要能执行精准直流、交流阻抗、超快速 I-V 或
脉冲 I-V 的量测能力。从测试设备到半自动或手动探针台的复杂接线，可能使晶圆准
确量测不容易达到。本文探讨直流、多频电容、超快速 I-V 和脉冲测试的接线技术，
以及说明适当接地和屏蔽的重要性、针对特定量测选择适当转接，和常见转接问题的
解决。
直流量测的配线
了解待测讯号的大小较容易推定可能误差源。为简单起见，假设所有待测信号既不是
高电压（即，大于 100V）也不是大电流（大于 200mA）。那误差来源就可分为三类：
泄漏电流，静电干扰和机械效应。
泄漏电流
所有流过非预期路径的电流，例如流经转接器的绝缘体。当待测物的阻抗大小近似于
电路上各种绝缘体时，泄漏电流就会形成量测问题。使用具有铁氟龙或聚乙烯高阻值
绝缘体的高品质电缆是最简单的解决方法。较好的电缆同时较能减少电介质吸收的效
应，其也是绝缘材料的一项功能。
尽管使用有品质电缆对减少泄漏电流大有帮助，总是还不太足够。重要的是要
了解当一般像电源量测单元(SMU)的直流仪器，经由同轴电缆连接到待测物时将会发
生甚么状况。