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保定标题：材料分析图像三目偏光显微镜-微热加工常识
所属分类：新闻资讯 点击次数：239 发布日期：2026-04-21
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材料分析图像三目偏光显微镜-微热加工常识
近场光学显微镜对于现今奈米尺度量测 上有高空间解析的能力，是分析
次波长微结构 不可或缺的工具。
因其空间分辨率受限于光纤 探针的尺寸，为近场光学显微镜中关键部份，
延续先前研究，本计画已达成探针自制能力， 并且利用自制的探针与外差
式近场光学干涉仪结合已具有不错的成效。再者，对于近场正交式的架构已
有初步的模拟结果。对于辐射状偏极态入射光在近场光学用探针模拟也观察
到了超小聚焦的现象，有助于提升近场光学显微镜之分辨率
扫描热显微术量测材料热性质和微热加工之影响。在 量测或加工过程中，由
于悬臂探针加热会 导致振动现象发生，此振动大小和探针与 工件间之交互作
用力有关；此外，由热探 针针尖传至工件表面之热通量亦会因振动而改变