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保定标题：电池制程检测金相显微镜-利用网版涂布制作金属电极
所属分类：新闻资讯 点击次数：243 发布日期：2026-04-21
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电池制程检测金相显微镜-利用网版涂布制作金属电极
硅晶太阳能电池制程中利用网版涂布的方式制作金属电极，传统一次
涂布电极宽度较宽，电极座标系与芯片座标系对位精度可容许有较大误
差。为了提升电池光电转换效率，发展两次电极涂布制程，将原有较宽的
电极变窄，但截面积需与一次涂布时相同，甚至增加，以让足够的电流通
过。制程改变后，两次涂布电极轮廓对位误差将是转换效率提升的关键因
素，本研究的目的为两次电极涂布误差补正方法与流程的探讨，发展软件
分析芯片座标系与电极座标系间的误差，并发展两座标系间误差补正的方
法，使得两次涂布电极座标系的误差达到允许范围内