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保定标题：元件的光学镜面表面粗糙度测量工具显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：258 发布日期：2026-04-21
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元件的光学镜面表面粗糙度测量工具显微镜
高分子材料应用于微机电(polymer MEMS)研究需突破之方向除技术新颖性外，亦需考量元件的光学特性，
如尺寸、镜面角度、镜面表面粗糙度、微透镜透光率、微透镜直径及非球面型貌…等，
需能符合所需应用之光学规格。因此，近几年开发新颖微制造技术之研究中，
为达到元件所需规格及稳定制程，
后学亦开发相关设备，使得所开发之微元件制程能趋于稳定，并达到较佳之测试结果。
所开发之设备有半自动化倾斜曝光机、微热压成型机、微非球面透镜制程开发平台、
微型非球面技术型貌检测(侧拍取像暨型貌分析)及微透镜光点检测系统(~0.4 μm)。