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保定标题：利用SEM拍摄微流道深度金相结构的特点
所属分类：新闻资讯 点击次数：256 发布日期：2026-04-21
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利用SEM拍摄微流道深度金相结构的特点
利用SEM所拍摄典型的微流道深度金相，微流道深度值同样是利用SEM 直接量测。
分别列出在固定扫描速度(10mm/s)及频率(1KHz)制程参数下，相关制程之微流道深度曲线图。
除电流9A及频率3KHz制程参数未能量测出微流道深度之外，
微流道深度均随着频率的增加而逐渐加深。其原因主要是因为当频率较低时，其开启遮板使激光
束达到基材表面的次数远低于频率较高之制程参数。
因而当搭配在同一扫描速度之制程参数时，在单位时间及单位距离内，若频率为3KHz，
每一个脉冲激光光斑，其圆心距离相距为1 个单位距离，则同样的条件
下，频率为1KHz 时其圆心距离将相距为3 个单位距离。
以本研究之制程参数为例，S:10mm/s, C:10A,F:1KHz 制程其激光光斑圆心距离为10μm，S:10mm/s,
C:10A, F:2KHz 制程其圆心距离则缩小为5μm，而S:10mm/s, C:10A, F:3KHz 制程其圆心距离更缩小为
3.3μm，因此利用脉冲式激光制备微流道时，
频率较低之制程将因其光斑重叠率太低，以致于其反应之深度大多决定于单一脉冲激光所能反应之深度，
而频率较高之制程将因其光斑重叠区域高，使得其深度是由上一次的脉冲激光反应深度之后，
加上部份再一次的脉冲激光所产生之反应深度，故微流道深度随着频率的增加而变深