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保定标题：高解析度的设计专业研究金相显微镜-辅助工具
所属分类：新闻资讯 点击次数：265 发布日期：2026-04-21
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高解析度的设计专业研究金相显微镜
虽然扫描探针显微镜能够具要原子级解析能力的关键之一，是在于应用压电陶瓷材料为作定位平台的驱动器，
使得在定位方面可以有较高的解析度，但是高解析度与长行程却是相反的设计考量，
所以扫描探针显微镜只应用压电平台而无其他的辅助工具，在试样的准备上就必须要先将欲扫描区域
切割成符合压电平台X、Y 轴行程的范围，而这个范围为50 μm 到200 μm 的正方格，是头发的0.5 倍
至2 倍，在试样条件上，这是一个严苛的条件，在实际的工业应上，
也将是一个非常严重的致命伤，所以加入长行程定位平台是要其相当的必要性
长行程定位平台的基本功能，就是要有定位(Positioning)的效果，也就是要能够将试样或探针，
与参考目标的相对位置之距离差保持一定，但是在实际的应用上，定位的误差是会受到很多的环境因素，
或是本身设计因素考量的影响，所以针对应用于扫描探针显微镜而言，定位平台系统的解析度与定位平台的工作行
程，是设计整体长行程定位系统重要的条件，然而随着定位平台的行程越大，
由于误差的累积，定位平台所能达到的定位精度就会大幅的降低，自然就会影响到系统的解析度;
另外要达到高解析度的设计考量，更精密的位置感测器、位置闭回路控制与严格的环境要求是必要的