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保定标题：电荷式电容量测的原理简介-小尺寸金属测量显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：285 发布日期：2026-04-21
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电荷式电容量测的原理简介-小尺寸金属测量显微镜
由于有高量测精准度以及其易于操作之特性，电荷式的电容量测方法在这几年来受到很大的瞩目。
除了广泛应用在后段制程金属接线电容的量测上外，其应用也成功的拓展到会随电压变化的小尺寸金氧半电晶体元件电
容。在本文中，我们将先藉由传统的电荷式电容量测方法，
电荷式电容量测的原理及操作，
介绍一种改良的新式电荷式电容量测方法，此一新的电荷式电容量测方法可完全避免由电荷注入现象所造成的误差，
而比传统的电荷式电容量测方法有更高的量测精准度。
藉由此电容量测方法，我们将可以直接监测在化学机械研磨制程中受虚拟填充金属影响的金属接线电容，
除此之外，我们还将呈现数个小尺寸的金氧半电晶体闸极电
容量测的例子及其应用。这个新的电容量测方法，
将是未来元件工程师在小尺寸元件的电容量测及分析上一个
不可缺少的工具。