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保定标题：金属材料实验/矿相研究-金相试样检测显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：287 发布日期：2026-04-21
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金属材料实验/矿相研究-金相试样检测显微镜
清洁油污检测
从光散射 Rayleigh 的理论来说，当微粒直径远小
于光波长时，散射光源可视为点偏振 dipole。光源入射晶圆表面微粒后，产生之反射光
也会照射在微粒上，形成 dipole，产生半圆的散射光
纳米绕射及散射线宽量测技术AFM 量测 CD 线宽量测技术，采用左右倾斜，兩次扫描量测，
再以缝补技术补偿误差，经测试后，发现 AFM电子显微镜 固定探针机构，会干涉到左右倾斜角度，
所以必需改采前后倾斜，已开始设计采前后倾斜所需调整机构。
阶高标準片(介于 1-100 μm)研制
阶高标準片(介于 1-100 μm)是采用在 50 mm 直径圆形基板上，表层加工成精密镜
面，再以钻石刀精密加工凹槽，可视要求规格，加工不同阶高，已有完成品，但标準件
加工成本太高，若能分割成多片伞形尺寸，可降低成本外，整体尺寸与重量都能大幅降低，
切割困难性在于可能会损毁镜面表面或阶高标準产生变形，加工屑料微粒会掉入阶
高凹槽内，冷却液污损标準件等问题。
将测试以线切割方式，将阶高标準片浸于冷却液，避免高温，加工屑料损伤镜面，
加工完成后，再以超音波清洁油污与残屑