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保定标题：元件尺寸借助显微镜放大影像测量仪器
所属分类：新闻资讯 点击次数：281 发布日期：2026-04-21
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元件尺寸借助显微镜放大影像测量仪器
随着半导体、微机电等制程技术提升，元件尺寸缩小化，对于制程品质也越来越严格，
因此需要以非破坏性及非接触性进行检测
显微镜作为实验基台，搭配干涉式物镜组发展一套结合具显微镜放大影像功能及干涉技术的显微干涉仪，
配合相移术或垂直扫描术量测方法，运用于不同的量测应用。
以相移术量测方法，来取得测试光与参考光的相位差，进而可求出待测体物的高度值，
可应用于量测待测物之平整度及重建三维表面轮廓结构。垂直扫描术量测方法，
以白光同调长度短的特性，再结合微调平台之螺旋测微器及驱动PZT推动Mirau物镜组，提升纵向深度量测范围，
可量测相移术所限制的不连续表面，应用于量测透明待测物的厚度及折射率