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保定标题：显微镜的盖玻片厚度范围从0.1mm 到0.15mm
所属分类：新闻资讯 点击次数：294 发布日期：2026-04-21
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显微镜的盖玻片厚度范围从0.1mm 到0.15mm
首先利用薄圆片的挠度来测量金属膜的应力，以显微镜的盖玻片(直径22.2 mm)当作基板且
以平整度和厚度的均匀性为选择基板之考量
此基板厚度范围从0.1mm 到0.15mm，膜厚约1000至3000Å，由于铁膜的应力够大而使基板弯曲，
测量方法是藉着光学干涉原理观察牛顿环，利用平整度为十分之一波长的光学平镜(optical flat) 测量基板的弯曲。
牛顿环法的基本原理与悬臂樑法相似，也是利用基板的形变测定薄膜的内应力。与其不同的是基板形状，
因此也称为圆片法(disk method)
早期使用的基板为玻璃、石英、单晶矽等材质，其尺寸范围为厚度0.13mm、直径18mm
至厚度0.22mm、直径30mm，基板的表面要进行光学抛光。近年来也有使
用直径5cm，厚度1mm的玻璃圆片做为镀膜基板。
在蒸镀前后，将基板放在石英板的光学平面(optical flat)上，测量其曲
率半径。把试样放在光学平面上后，用垂直于表面的光照射，这时在
试样表面和光学平面之间由于光的干涉将产生牛顿环，测量牛顿环的
条纹数目的变化就可以测定基板的曲率半径，从而算出内应力
快速地量测应力。量测方法是在一很小的圆形薄基板上蒸镀一层薄膜，
可使用一种普通的显微镜盖玻片(直径18mm，厚度0.18mm)为基板。镀膜后会使盖玻片变形，
约成一种抛物面的形状，在牛顿环的实验中，是以平行光入射在样品表面，在样
品与光学平板之间产生干涉条纹，再从其表面反射到屏幕上，依据几
何光学法来决定此一”球形面镜”的焦距，薄膜影像的放大或缩小，即
表示由于膜应力对应于基板的畸变大小，由放大倍率的数值决定应力的符号