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保定标题：光学量测表面粗糙度的原理简介-测量金相显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：298 发布日期：2026-04-21
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光学量测表面粗糙度的原理简介-测量金相显微镜
不管那一种量测方法，其检测原理大致相同，利用光照射到待测物表面，所得到资讯以感测器或电荷耦合器来
撷取光反射或散射后的情形，对表面粗糙度要求高的待测物来说，光学量测的确是目前检测系统的趋势。
为了解决此问题，本研究发展一套低价位与高精度之低温多晶矽膜表面粗糙度光学检测系统，
藉由检测光源照射准分子激光能量退火后之试片，以及根据所量测之光强，可以于准分子激光退火矽膜制程后，
快速得到低温多晶矽膜之表面粗糙度值。根据蒐集文献，使用光散射方法量测物质表面粗糙度值已经有诸多
成功案例，主要的原因为光散射方法具有简单与良好可靠度。
发展出一套不同厚度之低温多晶矽膜表面粗糙度光学检测系统，本系统的开发成本低廉，可运用于半导体薄膜材料，
制程线上即时解析表面型貌。