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保定标题:对角线测量工具显微镜-金相分析仪器厂家
所属分类:新闻资讯 点击次数:295 发布日期:2026-04-21
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对角线测量工具显微镜-金相分析仪器厂家
较于激光干涉仪直接测量各种几何误差量,由Charles Wang提出 之激光向量测量(laser vector measurement)
属于一种间接测量机台几何误差的方法。此方法使用激光干涉仪进行分段对角线测量
(step diagonal measurement),亦即针对机台工作空间内的四条体对角线,
测量机台移动过程中之定位误差。比起激光干涉仪,激光向量法只需要进行四次分段对角线测量,
即可计算定位误差、真直度误差与垂直度误差,因此大幅缩减测量机台误差前系统架
设所花费的时间。虽然激光向量测量法的理论推导中不考虑角度误差,但比起其他九个几何误差量,
角度误差相对而言很小,一般忽略角度误差并不会对误差补偿造成太大的影响,
所以激光向量法不失为校正机台几何误差的好方法

