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保定标题:对角线测量工具显微镜-金相分析仪器厂家

所属分类:新闻资讯 点击次数:295 发布日期:2026-04-21

大家好,这里是老上光显微镜知识课堂,在这里你可以学到所有关于显微镜知识,好的,请看下面文章::

对角线测量工具显微镜-金相分析仪器厂家


较于激光干涉仪直接测量各种几何误差量,由Charles Wang提出 之激光向量测量(laser vector measurement)

属于一种间接测量机台几何误差的方法。此方法使用激光干涉仪进行分段对角线测量

(step diagonal measurement),亦即针对机台工作空间内的四条体对角线, 

测量机台移动过程中之定位误差。比起激光干涉仪,激光向量法只需要进行四次分段对角线测量,

即可计算定位误差、真直度误差与垂直度误差,因此大幅缩减测量机台误差前系统架 

设所花费的时间。虽然激光向量测量法的理论推导中不考虑角度误差,但比起其他九个几何误差量,

角度误差相对而言很小,一般忽略角度误差并不会对误差补偿造成太大的影响,

所以激光向量法不失为校正机台几何误差的好方法