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保定标题：加工表面粗糙度检测坐标测量工具显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：363 发布日期：2026-04-21
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加工表面粗糙度检测坐标测量工具显微镜
加工表面粗糙度检测
薄膜测厚仪（α-stepper ）
粗糙度为表面上所有细小不规则之组织，可能是生产过程中，
由于激光光刻的能量输出并不连续所产生，目前使用范围最广、最
普遍的表面量测器，首推电子探针式之薄膜测厚仪，故也可利用薄
膜测厚仪来作粗糙度的分析计算，以薄膜测厚仪的数据作为实际加
工曲线，另外以下面的两种方法作分析取其数据作为我们量测数据
的基准中心线，然后将其实际量测线与基准中心线相减的误差值取
其值，对其误差值作平均，可得此曲线之算数平均粗糙度值