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保定标题：显微镜知识之激光加工上量测上的误差的原因简介
所属分类：新闻资讯 点击次数：333 发布日期：2026-04-21
大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：:
显微镜知识之激光加工上量测上的误差的原因简介
误差以及量测上的误差加以深入探讨，
以期得到更完美的微光学元件，及更完美的量测数据。
制程上的误差
产生制程上的误差有多种的原因，而最主要的原因为在制程时，
未能掌握制程参数的更佳状态，如准分子激光的输出能量、准分子
激光的输出频率以及工作平台的移动速度，对这些参数的控制极为
重要，以及其实准分子激光的热效应还是存在的，因为边缘的深宽
比要比中间稜镜部份的深宽比大，所以需注意准分子激光能量的控
制，能量太大此现象会更明显。