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保定标题：微光学元件的生产制作-光罩投影精密光学显微镜厂家
所属分类：新闻资讯 点击次数：330 发布日期：2026-04-21
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微光学元件的制作-精密光学显微镜厂家
我们所使用準分子激光的加工方式为光罩投影（Projection）
的方式，实验中采用工件材质为PC聚碳酸酯（Polycarbonate），其
折射率为1.586。并以工件相对于激光光束运动进行加工，因为加工
形状与加工深度是由单位区域受到激光光照射能量与照射次数所决
定。因此激光光束照射能量的大小与工件相对于激光光束运动快慢
可控制加工深度，当工件相对于激光光束运动较快时，其加工深度
就比较浅。所以将改变光罩图形，激光光束照射能量的大小
（可由激光光能量与衰减器角度控制），激光光束脉衝频率（Hz），
与工件移动速度等参数以穫得各种微光学元件。此外利用光罩图样的设计，
配合工件与光罩平台的相对运动，也可以获得特殊的微结构。
而产生此种结果的原因为层状加工（layer machining）的特点，加工深度会在原工件的形状下产生相对的加工深度。
所以加工深度和光罩透光部份区域呈正比，并且加工截面形状是光罩透光部份区域形状
比例变形，如三角形的光罩可以加工出截面为三角形的沟槽，而半
圆形的光罩可以加工出截面为半圆形的沟槽，各种形状的光罩可以加工出截面为其形状的沟槽。