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昌乐标题：扫描电容显微镜的应用简介,哪有卖金相显微镜？
所属分类：新闻资讯 点击次数：361 发布日期：2026-04-21
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扫描电容显微镜（Scanning Capacitance Microscope：SCM）是扫描探针显微技术代表性仪器之一，
具有对映出样品内隐含的载子浓度或掺杂浓度的二维分佈对比影像。其基本原理系利用探针与样品间所形成的等效电容是Cair、Cox和Cd的串联，
而Cair为空气隙缝所形成的电容量，Cox是厚度为tox的氧化绝缘体所形成电容量，Cd是厚度为td的半导体空乏层所形成的电容量，
进而量测半导体内部空乏层的电容量，与最接近探针的局部材料表面掺杂浓度有关。
扫描电容显微仪藉由侦测dC／dV的变量以对映出样品内隐含的载千浓度（carrier concentration）或掺杂浓度（doped concentration）的二维分佈对比影像，
可应用于MOSFETs、diodes或laser-structures等的检测。