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东方华侨农场标题：薄膜测厚仪的使用操作步骤！工具显微镜哪有卖？
所属分类：新闻资讯 点击次数：331 发布日期：2026-04-21
大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：:
薄膜测厚仪的使用操作步骤！工具显微镜哪有卖？
操作顺序
1.打开光源的开关
2.打开电脑与萤幕电源
3.执行桌面NanoSpec的捷径，将可以看到以下画面
4.Logon
USER ID: user
PASSWORD: user
5.选择萤幕上所示之现有程式进行量测请跳至步骤6，或是编辑现有的程式以符合所需，而编辑可经由功能区之Edit￥program￥edit进入以下画面，如需修改程式，请利用複制现有程式至尚未使用程式：
複制001至032程式
Edit Program (Page 1):
Edit Program (Page 2): 请注意勾选右下角两个选项
6.那还早
出现警告并无Filter的量测，此乃一般的状况。请按下OK键
请将全黑的滤片移除并将参考晶片放置于量测平台上，并调节显微镜焦距，使显微镜中方形框框的影像成为最清楚锐利即可，此时方可按下Ok键
7.之后会进入量测主画面如下图：
首先输入试样的代号（方便之后搜寻量测的结果）
此时将试片放置于量测平台上并对焦，使显微镜中的方框框最清楚，此动作如同参考晶片的做法。
此时会出现量测的画面，请将欲量测的点位置于光点之下并对焦之，之后便可按下【Mess】键进行量测，一般量测约小于1秒钟即可完成，此时可以于同一个点量测多次，以观察其结果的再现度与準确度，一般準确度可从两个地方看出，一为量测结果表中的Fit栏可观察知，其值越小越準且一般为小数点以下的数值，如下图：
第二种判别的方法即为图示法，请按结果表底下的【Graph】，将会出现上一次量测的光谱分佈图如下图，其中包括蓝色与红色的曲线，蓝色表示实际量测得到的图形，红色则代表程式模拟的图形，如果所得到的图形大致相符（波峰与波谷产生的位置相似）表示此量测的结果是準确的，其中如果厚度越后所得到的波峰与波谷越多，但如果薄膜的厚度过薄量测结果无波峰波谷只有单一曲线，则较不具可信度。
按下【Stat】则会显示出量测结果的统计结果如下图：
注意每当移动量测的点位都需要对焦的动作，如果更换新的试片可以利用【New Test】键重新键入试片代号，当量测结束则按【Calib】跳出量测主画面。
8.搜寻已经量测过的结果：
拉下功能栏中的【Data】Process Measurement Result
其中会出现四个方框包括：Program, User ID, Date and Time, Sample ID等四个选项，此四项选择为搜寻的规则，更好皆设定比较容易搜寻你所要的资料。
Program：请加入你所想搜寻的量测程式于右侧，并按Ok。
User ID：选择你所想搜寻的使用者加入右栏并按Ok。
Date and Time：务必调整搜寻时段如下。
Sample ID：输入试片的代号，此项最有利一般使用者搜寻，请多多利用。
设定搜寻条件后进行搜寻，可得到搜寻结果如下：
并选择你所需要的结果列按滑鼠两次，即可出现你所指定的量测结果：
9.关机步骤：请于主画面功能栏中的【Exit(Shutdown)】Exit to Windows，跳出程式回到win2000桌面，执行正常关机步骤，待完全关机后
1. 萤幕开关关上，
2. 光源开关关上
3. 盖上防尘套于显微镜上