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东方华侨农场标题：PEM-故障分析时最常用的电性定位仪器！搭配显微镜侦测缺陷波段！
所属分类：新闻资讯 点击次数：370 发布日期：2026-04-21
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PEM-故障分析时最常用的电性定位仪器！搭配显微镜侦测缺陷波段！
PEM是IC Design House自行做故障分析时最常用的电性定位仪器，
它的原理简单的说就是利用一个显微镜配上一个光的感测器(Detector)来侦测因为缺陷所产生特定波段的光，
并把光点和之前撷取的晶片影像叠加(superimposition)起来，以达到缺陷处定位的目的