古县扫描探针显微镜测量速度低横向分辨率则高
所属分类：新闻资讯 点击次数：12 发布日期：2026-04-20
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扫描探针显微镜测量速度低横向分辨率则高 扫描探针显微镜和探针轮廓仪，然后围绕着近十五年来发展起来的、在商业和工业上得到应用的光学技术进行了详细的介绍。这部分内容包括单色光及白光照明干涉显微镜，白光和多波长技术也常常应用于其他测量方法，比如散斑、全息及条纹和结构光投影过程。最后还针对光学测距技术和偏振干涉仪作了简短的评述。接触式轮廓仪 探针轮廓仪和扫描探针显微镜，通常都称为接触式轮廓仪或者触摸式传感器，因为它们都是使用一个探针来对测量对象的表面进行扫描。现在，施加在探针尖上的力已经非常小了，以至于很难再将其称为接触式仪器。这类仪器的测量速度很低，横向分辨率则相当高，不过一般来说低于光学显微镜。作为最早得到发展的探针轮廓仪，其制造成本不高，也便于使用，因此在许多机械和光学车间中作为标准配备。扫描探针显微镜的发展要相对晚一些，但是由于其具有亚纳米量级的纵向和横向分辨率，现在该设备在实验室和半导体及微机电系统(MEMS)工业中已经被普遍使用。测量大口径元件的剖面可以使用较大探针坐标测量仪，该仪器能够在扫描模式下工作。
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