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古县磨擦划痕与背隙孔隙率测量影像测量工具显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：5 发布日期：2026-04-20
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磨擦划痕与背隙孔隙率测量影像测量工具显微镜微奈米精密对位(Alignment)是平面显示器或相关精密产品制程中非常普遍需要的基本动作功能，此精密对位的对位精准度与作动反应速度，对整部制程设备的性能具关键性之影响。针对精密对位传统上大致皆应用一般伺服定位系统，然一般伺服定位系统常因传动机构之库 伦静磨擦与背隙效应而让运动分辨率及控制性能大为受限，压电驱动精密对位由于运动分辨率及高刚性而被视为是一相当有效的解决之道。然压电驱动精密对位仍有两大问题:1.压电致动器具迟滞、潜变、饱和等非线性特性，2.(2)对位之基准大多为被对位物件上之光学标 记，3.有赖显微视觉加以量测回授。本研究之目的即在克服压电致动器之迟滞、4.潜变、饱和等非线性问题，使其控制性能更佳，5.并与显微视觉量测回授整合而成精密对位系统。为此本研究建构提出一新创之压电驱动非线性模型，模型简洁、具物理意义、易设计其反迟滞电路、 并具相当性
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