古县CCD采集成像搭配显微高解析度光学目镜-精密雕刻
所属分类：新闻资讯 点击次数：5 发布日期：2026-04-20
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CCD采集成像搭配显微高解析度光学目镜-精密雕刻提供了一种新的结合影像采集与激光雕刻系统的光学架构，目标在于改良传统激光雕刻系统的光学架构，提供同步且精準的影像对位功能。其作用方式为利用CCD影像采集成像方式，事先采集工件的影像，获得与雕刻解析度相当的光学影像，以设定工作区域的大小与位置，并据以精密校準工件工作区域的3D位置。如此，传统上因目视校正所造成的误差可大幅减小，且可避免多次的尝试错误，并可快速定位，大幅降低寻找与对位工作区域的时间。应用激光雕刻系统原理并改良传统激光雕刻系统的光学架构。其工作概念原理为结合小型Galvo-mirror暨共焦成像方式，再配合高精密度Projection Lens结合4f 系统与高数值孔径(Numerical Aperture)物镜且大面积扫描特性，以此系统可及时定位雕刻工件的显微影像，其显微解析度最小可小于1.0μm。如此，将传统激光雕刻系统雕刻大范围改良至高解析度的显微雕刻系统。显微雕刻系统有二：(一)飞秒激光显微雕刻系统。(二) 奈秒激光显微雕刻系统。使用Multi-Wall Carbon Nanotube当做sample，并配合SEM(扫描式电子显微镜)比较飞秒激光与奈秒激光做显微雕刻时所产生不同的激光与物质交互作用而所产生的不同结果。
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