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古县量测工具显微镜的微粒直径范围为100 nm-1mm
所属分类：新闻资讯 点击次数：12 发布日期：2026-04-20
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量测工具显微镜的微粒直径范围为100 nm-1mm在晶圆表面上的奈米级微粒的粒径和分布是半导体制程中相当重要的检测参数。针对此需求，工研院量测中心发展出一套奈米级的多方位偏振散射光量测仪，使用一个可四个角度旋转的多方向调整机构来量测由晶圆表面上奈米微粒的偏振散射光，再经由此散射光的Mueller 矩阵来计算和分辨奈米微粒的粒径大小，其可量测的微粒直径范围为100 nm-1mm，并可承载4-8吋的晶圆进行量测。
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