新闻资讯
海陵标题：电子元件分析的工具简介-扫描显微镜温度解析度约0.5℃
所属分类：新闻资讯 点击次数：29 发布日期：2026-04-21
大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：:
电子元件故障分析的工具简介-扫描显微镜
扫描热导显微镜可以作为量测低、高介电质之热导系数及电子元件故障分析之工具。
目前半导体业界，低、高介电质的研发，其中包括多种物理、化学性质差异颇大的新薄膜材料，
因此极需建立準确量测新薄膜材料之物理、化学性质的系统。而新薄膜材料之热导系数量测，
就是最近逐渐受到重视的研究课题。扫描热导显微镜的温度影像，其中温度解析度约0.5℃，
平面解析度则约0.2微米；若将其定点量测出不同时间的温度变化，或某一时间不同位置的温度变化，
则可得到薄膜材料之热导系数。相较于其他量测热导系数的技术，扫描热导显微技术是不需接触试片表面，
距离十微米内就可量测的非破坏性技术，且具有较佳的解析度(10)。扫描热导显微技术，经由适当的校正程序，
甚至宣称可以得到材料的热导系数(absolute thermal conductivity) (10,11)。
利用扫描热导显微镜观察实际运作的电子元件由温度的平面影像，
我们可以轻易地找到热点的位置，通常也是电子元件故障的位置，即使此热点上有几微米厚的金属层、介电层及保护层。