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靖江标题：光学式测量仪和探针式测量显微镜的原理简介
所属分类：新闻资讯 点击次数：17 发布日期：2026-04-21
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光学式测量仪和探针式测量仪器的原理简介
低成本三次元触发式量测探头，探头前端的球状探针是利用放电加工机以线放电研磨法制作而成，其直径小于 100微米。
研究采用碳化钨（WC）为材料的探针。实验结果表明，前端圆球的真圆度可达3微米。
由于尖球不容易用肉眼观察，我们设计了一个显微影像系统观察即时探测。该系统是利用商业摄像头和显微物镜所设计而成。
一般传统三次元量测探头，是将探针与悬吊机构结合。当探针和工件接触后，藉由悬吊机构的运动做为触发之判断依据。
但利用微细放电加工机所制作之探针，相当脆弱且探球之针柄相当细，当此探针和工件接触后，
针柄易弯曲变形造成量测之误差，甚至造成探针端裂。因此本专题设计一电路来进行触发量测，
设计原理是让电晶体永远保持导通，当探针和工件接触后，就如同开关一样，使迴路之电阻导通，
进而撷取电阻之电压值作为触发判断之依据。由于让电晶体永远保持导通，可以避免探针和工件接触时，瞬间产生能量过大而造成误差。