上思特别适用于对可能包含多晶区的晶片分析电子显微镜-老上光仪器厂

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所属分类：新闻资讯点击次数：9 发布日期：2026-04-19

大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：

特别适用于对可能包含多晶区的晶片分析电子显微镜

较高能量的电子束可用以进行反射式电子衍射(RHEED)

，这时采用小的掠射角，并利用向前散射的电子来造成

衍射花样，而这种向前散射的电子的产生率不会由于入射电子能

量的增加而减小．如果试样表面象那样粗糙，则光：豪

可以贯穿凸出部，这时情况就基本上和透射电子衍射相同了．然

而，如果表面在原子尺度上是十分光滑的，那末当电子束以小角度

入射时，它的贯穿深度也是十分小的，这时反射式高能电子衍射将

和低能电子衍射一样，基本上只与试样表面的几个原子层有关．需

要记住的是：虽然电子束的直径很小，但因掠射角也很小，因此试

样表面受电子柬照射的区域将是一定长度的狭带，这个区域都产

生衍射，这样，要进行局部区域的测量就变得困难了．正因如此，

在研究表面时，反射式高能电子衍射的应用就不象低能电子衍射

那样广泛．但它也有一个优点，即它更容易观察到小的晶体结均

不同的局部区域

反射几何也可应用于形貌照相，如果被检验的是表面或似外

延层那样的薄层，则最为适宜．已经采用了类似于透射形貌照相

中所用的某些改进办法，例如，双晶单色器以及使用选择挡板来限

定观察截面等．白色辐射和大截面的X射线柬也能用来拍

摄形貌照相图．用这种方法拍的斑点也是大的，并将显示出结

晶学细节．这种方法特别适宜于对可能包含多晶区的晶片快速地

作形貌图

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