天涯铜金属表面微小试样表面细微划痕测定显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：6 发布日期：2026-04-20
网站网友点击量更高的文献目录排行榜：
点此链接
0
铜金属表面微小试样表面细微划痕测定显微镜刮痕(scratches)由于铜金属较二氧化矽与钨金属软，所以在化学机械研磨铜制程阶段更容易发生刮痕，在铜金属表面的一般刮痕可以概分成三类，剃刀状刮痕(razor scratches) 、颤振状刮痕(chatter scratches)及跳跃状刮痕(skipping scratches)，这些刮痕的分类例子如图三所示。当刮痕很深的穿入表面层下的二氧化矽，而且超过二氧化矽层的范围，在铜金属被移除后，刮痕的较深区域仍会留在表面，所以看起来不像连续性的刮痕；刮痕可视为铜金属沿着刮痕路径所产生的晶粒间失效缺陷，但是前述的三类刮痕其发生机制尚未建立。除了此三类泛分的刮痕外，在二氧化矽层内也可见到相当数量的短刮痕。于铜金属层的刮痕如果在后续的介电层产生复制现象，就会造成问题，因为介电层内的刮痕在金属沉积与随后的化学机械研磨制程后，会造成金属枝状突出物(metal stringers)，在介电层内的深刮痕会以同样的方式造成图案扭曲，对刮痕的一般预防方法是以二氧化矽研磨剂缓擦(buff)介电层来移除深的刮痕。铜金属刮痕实例(以AIT II检测获得)，a)剃刀状刮痕(razor scratches)，b)颤振状刮痕(chatter scratches)，c)跳跃状刮痕(skipping scratches)
关注页面底部公众号，开通以下权限：
一、获得问题咨询权限。
二、获得工程师维修技术指导。
三、获得软件工程师在线指导
toupview,imageview,OLD-SG等软件技术支持。
四、请使用微信扫描首页底部官方账号！
相关新闻
- 天涯标题：显微镜 数位像机连接方式: [2026-04-21]
- 天涯标题：日2011本工业零组件进口需求以每年30%的成长幅度 [2026-04-21]
- 天涯标题：北京上光仪器有限公司产品保固与维修保养服务 [2026-04-21]
- 天涯标题：萤光抗体直接法可应用于任何抗原的物质 [2026-04-21]
- 天涯标题：靡全球的 Leica MZFL III 萤光实体显微镜已功成身退 [2026-04-21]
- 天涯标题：实验观察课-是显微镜的观察，一开始都不会找目标 [2026-04-21]
