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兴隆华侨农场标题：近年来共焦显微镜已经成为广泛被使用的研究工具
所属分类：新闻资讯 点击次数：54 发布日期：2026-04-21
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以临界角法结合共焦显微镜的基本原理，组成一个具有高解
析度及长深度量测的光学量测系统，增进原有共焦显微镜性能，可应用于
如光学表面、生物医学、微奈米…等三度空间影像方面的量测。预计纵向
的解析度约可高于5nm，以及横向解析度可高于0.3μm，并且其更大位移量
可大于±20μm。
关键词：共交显微术、临界角
近年来共焦显微镜已经成为广泛被使用的研究工具，在生物医学及半
导体检测居于重要的角色，其相关的应用相当多，有关共焦显微镜的研究
及应用在国外方面过去很早就已经展开了，
1982年英国的D.K.Hamilton与T.Wilson显微术的表面三维测量技术；该技术
是以共焦显微镜术的纵向反应曲线极大值，也就是焦平面的位置作基准，
在扫描样本表面时，移动样本的高度使共焦讯号堡值在极大值，由样本的
移动量就可得知其表面高度的变化。现今仍有不少科学家在为共焦显
微术找寻新的应用方向及提升共焦显微术的性能，如结合锁相式干涉技术
(phase-locked展而成的共焦显微术，已经可达到奈米级的纵向解析率；近年来对发表了基于共焦interferometry)