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利用静电透镜可以有那些应用-分辨率约20nm
所属分类:新闻资讯 点击次数:3 发布日期:2026-04-19
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利用静电透镜可以有那些应用-分辨率约20nm
第二代光电发射电子显微镜(PEEA12)是利用静电透镜和不带失真矫正
的常规仪器,由Howard-Padmor。设计,其工作原理,光激发的电子从样
品逸出被15~20kV的高压加速.物镜和传输透镜在一个背聚焦的平面狭缝后面产
生一个中间像,这个像被两个投影透镜放大.电子透镜的空间分辨率和透过性
(效率)可以通过位于15~50mm的背聚焦平面狭缝来改变.用光纤祸合到磷光剂上的
CCD探测电一光图像,其空间分辨率约20nm. PEEM2接受样品的宽度可以达
到15mm,并且可以与四个宽度在12μm-2mm可变的狭缝中的任何一个匹配,狭
缝越窄分辨率越高,但是在分辨率与电子透过滤之间有一个平衡.
在光电发射电子显微镜中,照亮样品的x射线光源点比显微镜的视场大,
因此分辨率只受限于聚焦系统.PEEMI2的四个透镜可以将电子图像聚焦成不同
的大小.尽管CCD可以在1秒钟内抓拍四副图像,但实验过程中典型的曝光时间
是几秒钟.实际的PEEN12装置
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