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所属分类：新闻资讯点击次数：6 发布日期：2026-04-19

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高解析度测量工具显微镜厂商

磁浮定位平台、摩擦驱动定位平台、导螺杆定位平台(马达+导螺杆)、线性马达定

位平台等，也已经在实际的应用上有着相当的成效，但对于扫描探针显微镜而言，

这些平台的设计，也都存在着与压电陶瓷驱动平台相同的瓶颈，因此在实际应用

扫描探针显微镜上，除非有其他如成本或环境控制上的考量，否则纳米级定位平

台仍不是应用在扫描探针显微镜上，最适当的平台定位系统。

除了上述之两种定位系统外，可应用在扫描探针显微镜上之定位系统尚有双

平台定位系统，双平台定位系统是应用粗动定位平台(Coarse positioning stage)

与细动定位平台(Fine positioning stage)搭配成兼具高解析度与长行程之定位系

统，例如以压电材料驱动之微动平台，结合直流伺服马达和滚珠螺杆驱动之粗动

平台。利用粗动定位平台具有长行程、低定位解析度，以及微定位平台具有高定

位解析度、高反应速度和短行程的特点，将微定位平台结合于粗动定位平台的上

方，则可获得长行程、高定位解析度、高反应速度之定位平台系统[3]。

但是双平台定位系统，由于是由两种不同的驱动系统所组成，且两个驱动系

统之动态特性也不尽相同，因此在控制上较为复杂。然而利用传统的 PID 控制法

则，仍可达到强健且具有次纳米级定位精度与解析度之定位系统。因此双平台

定位系统可称是应用在扫描探针显微镜上，最为适当的平台定位系统

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