工件轮廓测量仪器-全自动测量投影仪器-老上光仪器厂

公司新闻行业新闻常见问题

新闻资讯

所属分类：新闻资讯点击次数：6 发布日期：2026-04-19

大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：

工件轮廓测量仪器-全自动测量投影仪器

纳米绕射及散射线宽量测技术

以 AFM 量测 50 nm 线宽线距技术，须配合使用超细微探针，探针尺寸可降低

到 2~10 nm 等级，减少对量测待测件表面尺寸的影响。

因探针尺寸还是与待测件尺寸相近，以传统扫描方式，会受限于探针给几何表面形狀，会有死角而无法量测问题，

当 AFM 探针由左往右扫描时，工件右侧轮廓侷限于探针几何形狀问题，无法

量测到。NIST[1-5]作法是使用倾斜式单向扫描，由作次左往右扫描后，

将工件旋转 180 度，同样再扫描一次后，以缝补技术让二次扫描结果组合，以得到待测

件真实輪廓。此方法会碰到问题为纳米工件非常细微，经旋转 180 度后，很难再找到同

样位置进行量测，会造成缝补技术组合误差。

另一量测程序，将探针与待测面倾斜，先将探针左倾斜时，由左往右扫描时，工件左侧輪廓不会侷限于探针几合形

狀问题，直接在再倾斜探针为右倾斜后，并进行扫描，同样再以缝补技术组合，

因倾斜调整座在倾斜转动时，工件仍会有空间位移问题，由调整座几何形狀关系与倾斜角度，

可推算出偏移量，再由水平移动平台补偿偏移后，仍可找到待测件，所以二次量测都能

在同一位置附近，才能以缝补技术补偿误差

网站网友点击量更高的文献目录排行榜：点此链接关注页面底部公众号，开通以下权限：一、获得问题咨询权限。二、获得工程师维修技术指导。三、获得软件工程师在线指导 toupview,imageview,OLD-SG等软件技术支持。四、请使用微信扫描首页底部官主账号！