上海光学仪器一厂-表面分析仪器产品列表-老上光仪器厂

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所属分类：新闻资讯点击次数：7 发布日期：2026-04-19

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上海光学仪器.-表面分析仪器产品列表

http://www.xianweijing.org/html/product/cailiaobiaomianjianceyiqi/

飞行式质谱仪(Laser Time-of-flight Mass Spectrometer)是一种表面分析仪器。

以脉衝式钕钇铝石榴石(Nd-YAG)电射照射固态试样,使表层物质汽化及离子化后,由飞行式

质谱仪撷取此物质之组成成份讯息,可即时作析真空室内之固态试样在二维面上选定位置表

层物质之组成成份,或选定位置纵深层物质之组成成份。仪器由雷射源、机构主体及电气系

统组成,机构主体包括试样传送器、试样準备室、主分析室及飞行式质谱仪。电射飞行式质

谱仪主要应用于电子、光学及机械材料表面分析(如积体电路、光学薄膜及特殊材料处理等

之分析)。此外并应用于地质学、生物科技、材料科学、原子科学、微电子学、及分析化学等科学研究领域。

当离子化所形成之光子飞行路径越长,激光质谱仪之解析能力及精度也就越高。

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