电子气体,气态氢化物,金属有机化合物相关主题探讨
所属分类:新闻资讯 点击次数:20 发布日期:2026-04-20
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电子气体,气态氢化物,金属有机化合物
想腐蚀看金相,用什么样的腐蚀液比较好?
化学气相沉积
分子束外延
金属有机化合物气相沉积
~~
相信朋友们很熟悉的
它们目前不能被广泛应用的原因
除了设备及运行条件的指标相对较高以外
高质量原料的生产也是一个技术瓶颈
电子气体,气态氢化物,金属有机化合物
应该属于该范畴内的产品
希望与各位朋友交流看法
是的,只有高质量的原料才能产生高质量的产品,目前电子气体就存在这样的瓶颈。
CVD技术所使用的特殊原料一般包括普通气体(N2,H2,NH3,He等),特殊气体(H2S,PH3,AsH3,SiH4,GeH4等),金属有机源(卤化物,烷基化合物等)。
目前国内还不能做好的基本就是超高纯NH3,特殊气体,金属有机源。而随着中国半导体技术与纳米技术的发展,真空镀膜技术(CVD技术与PVD技术)也迎来了自己的春天。但是国内目前在整个薄膜技术领域还是非常落后的。一方面设备造不好,另一方面源材料生产不出来,还有就是薄膜制备工艺技术也落后于国外。
其实在以上领域都充满了机遇与挑战,但是我们目前想做好还真的很难。
现在似乎仍然是这样~~
在搭建有机场效应晶体管时,Organic ribbon mask都用什么材料?
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