多种不同微电子工艺可用来制造常见的微电子器
所属分类：新闻资讯 点击次数：3 发布日期：2026-04-20
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多种不同的微电子工艺可用来制造常见的微电子器 微细加工技术 现在，已有多种不同的微电子工艺可用来制造常见的微电子器件，如运算放大器、逻辑门电路、微处理器等。其中许多工艺技术，有时甚至是全部标准工艺，对开发、生产微传感器都是很有价值的。例如，可以用标准双极工艺制造热微传感器，因为双极工艺制备的p-n结二极管，其在电流不变时的正向电压，或n—P-n型晶体管的基极一发射极间电压与温度有一定的比例关系。制造常用二极管和热敏二极管的工艺几乎没有什么不同，主要差别是器件的设计，或许最后的封装也有些差别。在大多数实际情况中，最理想的是，只要可能就尽量利用标准工艺流程，或者在标准工艺流程之外，或在线工艺中插入一到几个非标准工序。集成到什么程度，这是一个苛刻的设计问题，所以设计者往往首先考虑混合电路的解决方案，但其中也将借用标准微电子工艺及其封装技术。将微电子电路集成到MEMS中去也是一个难以决断的问题，因为其最终产品很复杂。所以本书将论述各种可能的技术途径，甚至包括首先从微电子学着手，还是首先从MEMS着手等问题。为此在本章及以后几章中先扼要地介绍标准微电子工艺，以及需要增加的其他非标准材料和工艺技术。
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