扫描电子显微镜是将细聚焦的电子束在样品
所属分类：新闻资讯 点击次数：5 发布日期：2026-04-20
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扫描电子显微镜是将细聚焦的电子束在样品而应用电子显微镜观察断口形态和金相组织时，一般都需用醋酸纤维纸(AC纸)或火棉胶进行二级碳复型制成碳膜。这种沉积膜是无定型非晶质的，它是按高斯原理成象的。即当一电子束入射到碳膜、二氧化硅膜、火棉胶支持膜等样品上时，电子束将被散射，电子散射在一个立体角范围内，其散射强度随散射角增加而降低。扫描电子显微镜是将细聚焦的电子束在样品(断口实物)表面扫描，并将样品表面被扫描的微小区域内激发产生的二次电子、背反射电子、吸收电子、透射电子等信号进行检测放大，然后用来同步地调制阴极射线管荧光屏上相应位置的亮度，把样品表面不同位置的讯号强度显示在荧光屏上，得到相应样品表面的放大象。由于二次电子的产生强烈地依赖入射电子束与样品表面之间的夹角，只有当入射电子束接近样品表面时，才有较多的二次电子逸出，而且又因为二次电子能量低，只有靠近样品表面大约100埃以内的二次电子才能逸出。所以，二次电子象主要是样品表面形貌的反映，并且具有较高的表面形态的分辨率。
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