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光学比较显微镜-对比不同样品的区别软件
所属分类：新闻资讯 点击次数：8 发布日期：2026-04-20
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光学比较显微镜-对比不同样品的区别软件光学比较法 这种方法的工作原理是将两块掩膜版进行比较以寻找两者之间的差别。两块掩膜版分别放在平台上，然后分别由经过滤色后成，为互补色的两个光源照明，将两块掩膜版的图形进行重叠，造成显微镜中的明场和暗场的匹配区域。假如两块掩膜的某一块出现图形上的变化，就会以这块掩膜版所照射的光源的颜色显示出来。人的眼睛对于图形的差别是非常敏感的，因此一旦在掩膜版上出现缺陷或者图形异常，将会很快被检查出来。但使用光学比较法来发现缺陷，其代价是很高的，因为:1.套准必须更佳，但这是很花费时间的，2。操作过程很难实现自动化，3.需要特别高的机械精度。 上述这些问题是很重要的，因此光学比较器现在一般仍用于检验一些特别重要的领域，如临界尺寸检验和线条宽度变化等。
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