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样品材料表面的粒状物质检查用工具显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：8 发布日期：2026-04-20
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样品材料表面的粒状物质检查用工具显微镜表面的粒状物质 由于表面普遍存在粒子污染，所以净化间题急需解决。其原因是对电子器件所需洁净度，以及怎样彻底清除粒子的技术了解甚少，只认为这是一般的问题。 虽然有了高效过滤器，并在洁净室的设计中得到了应用，但是，要使表面完全没有灰尘或其它粒状物质，实际上这是不可能的。即使只在层流罩内放几天，在显微镜黑色管筒上也能看到粒状物质。同样，将硅片在标准罩内存放一星期，由于选择性的粒子污染，硅表面出现了钠原子。 清除表面粒子可用两种方法:用压缩空气吹;用水或隋性溶剂快速冲洗。清除这种粒状物质的难度，与日常清扫汽车相似。即使高速行驶，汽车表面的粒状物质也只是小部分被“吹掉”。或许这种比喻不怎么恰当，因为在汽车表面沉积了一层趋于增加粘附力的有机膜，当然在硅片上也是沉积了一层有机膜。如果有人想用软管的水流(没有肥皂的)洗掉汽车上的尘土，那么经验说明，即使水流压力再高也达不到目的的。
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