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精密微电铸制程加工焊接测定体视显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：11 发布日期：2026-04-20
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精密微电铸制程加工焊接测定体视显微镜研究精密微电铸制程中，以UV-LIGA制程技术，同时以不锈钢片(SUS-301)作为基材，经由黄光微影制程技术达到光刻模板的效果。以电铸铜制作牺性层，并在铜牺牲层之上堆叠电铸镍结构层，再移除铜牺牲层，达成微悬臂梁结构悬空于基材的状态。研究中探讨微影制程参数以及电铸技术的操作条件、参数设定对微结构成型的影响，与了解厚膜负光阻JSR-120N性质，及铜牺性层溶解去除的操作，皆为此研究的主要内容;同时对制程中包括软烤条件、曝光时间条件及显影条件作分析，探讨各微影参数对厚膜光阻JSR-120N微影技术的影响，并利用脉冲电流来提高镍结构表面品质
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