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平行于电子束是取得高分辨影像的重要因素
所属分类：新闻资讯 点击次数：14 发布日期：2026-04-20
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藉由倾斜试片使某特定晶面的轴向(pole)平行于电子束是取得高分辨原子影像的重要条件。试片区的真空要求度较低，约在10-5 torr，试片区较低的真空要求度可节省每次更换试片所要花费的时间。通常在电子光束跟试片室之间会有一真空阀门来隔开两真空度有差异的区域，要进行观测时才会打开，以防电子光束寿命减短。电磁透镜系统是由物镜(objective lens)，中间镜(intermediate lens)，以及投影镜(projective lens)等三种所构成。
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