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氧化锌薄膜在可見光区其光穿透率皆可达到80%以上
所属分类：新闻资讯 点击次数：6 发布日期：2026-04-20
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首先沉积氧化锌薄膜在不同靶材功率下，在沉积压力2×10-3，其结晶性排列较紧密，有较低之电阻率值为9.8 × 10-2Ω-cm。氧化锌薄膜在可見光区其光穿透率皆可达到80%以上，而其光学能隙与载子浓度有关，藉由吸收光谱图起始吸收峰值约(380 nm) ，其能隙范围约为3.10 eV。为了提升元件效率，更进一步降低电阻率是必行之路，由于微量的掺杂其他金属离子可以有效改善氧化锌导电特性，因此藉由掺杂少量的钛來沉积氧化锌掺钛薄膜，于锌靶功率700瓦(W)与钛靶功率700瓦(W)时，有更低之电阻率为4.8 ×10-3 Ω-cm，且氧化锌掺钛薄膜之穿透率皆可达到80%以上，而其能隙被宽化由3.10 eV增加至3.27 eV，并随着载子浓度增加而增加，掺杂少量的钛确实改善了氧化锌薄膜的导电性质。因此本研究亦将探讨薄膜厚度、靶材功率和工作气氛对于氧化锌掺钛薄膜性质的影响，以期能达到镀层的较佳之导电及光学性质。
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