三坐标测量工具显微镜能够建立三维测量影像
所属分类：新闻资讯 点击次数：8 发布日期：2026-04-20
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常用雷射搭配一位置灵敏光强侦测器之侦测方式(beam-bounce technique)。利用原子力显微镜量测共聚物的电区之架设示意图（b）铁电共聚物之铁电区影像由 A.Gruverman 等人首先在 PbZrTiO3 (PZT)铁电薄膜施加一直流电压使其极化反转后观察其铁电区影像，同年使用压电力显微镜（piezoresponse force microscope）的量测来比较 PZT 薄膜分别成长在 Ru 和 Pt上铁电区结构的差异[4]。之后于 1998 年研究 PZT 铁电薄膜在〝奈米尺度〞下的铁电区及电区反转（domain switching）行为在这先前的压电力显微镜量测只有极化方向垂直于薄膜的分量可被量测，称之为 vertical PFM；同年(1998 年)发展出可量测极化方向平行于薄膜表面的 lateralPFM，又 2006 年 S. V. Kalinin 及 B. J. Rodriguez 量测 PbTiO3 铁电薄膜同一铁电区的 vertical PFM 及 lateral PFM，建立了二维铁电区影像，并利用探针偏斜机制来建立三维铁电区影像，称为 vector PFM。
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