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扫描延伸电阻显微镜的应用有哪些？
所属分类：新闻资讯 点击次数：10 发布日期：2026-04-20
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扫描延伸电阻显微仪是对映出样品内隐含的电导率或电阻率的二维分佈对比影像，可应用于半导体性及III-V、II- V I半导体，如LEDs、photo-detectors及laser diode等。此外SSRM对微小变量的掺杂浓度，亦有的解析能力。因为导电式显微仪的电流感测灵敏度，故可应用于电性极差或厚度为奈米尺度的绝缘性样品，如半导体、DLC薄膜、生医材料（bio-materials）、导电高分子（conductive polymer）、氧化物（oxides）及铁电材料忙（ferro-electric material）。例如（1）应用于检测介电层薄膜的电性瑕疵：在样品SiO2，可藉由此方法来判断薄膜的均匀性或介电层的崩溃电压；（2）应用于检测连电性高分子薄膜的电性。
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