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原子力学显微镜(AFM)和金相显微镜在薄膜特性量测实验的作用
所属分类：新闻资讯 点击次数：6 发布日期：2026-04-20
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原子力学显微镜(AFM)： 观察薄膜三维空间的表面型态，原子力学显微镜是一非破坏性的表面分析仪，利用图像分析可得薄膜之表面粗糙度及奈米结构的尺寸分佈。在本研究中是观察Ni崁入式ITO之表面型态以及表面粗超度，又观察Ni崁入式ITO试片之Ni与ITO部分。 金相显微镜(OM)：金相显微镜之观察主要为经过黄光制程Lift-off制作的Ni嵌入式ITO的点状槽。
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