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场发射扫描式电子显微镜FEGSEM,优缺点？
所属分类：新闻资讯 点击次数：4 发布日期：2026-04-21
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场发射扫描式电子显微镜(FEGSEM：Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)
使用六硼化镧(LaB6)或纳米碳管(CNT)制作成针尖小于100nm(纳米)的纳米来发射电子束(场发射)，
纳米可以使电子束的直径缩小到10nm(纳米)左右，
其原理与扫描式电子显微镜(SEM)相同，如图4-54(d)所示为场发射扫描式电子显微镜(FEGSEM)照片，场发射扫描式电子显微镜(FESEM)的解析度更高，可以用来观察大约10nm(纳米)的结构，但是只能观察物体表面的高低起伏，所以表面平整的物体无法使用。
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