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标题：利用金相显微镜测试结构乃利用简单的面型加工牺牲层法
所属分类：新闻资讯 点击次数：18 发布日期：2026-04-21
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利用金相显微镜测试结构乃利用简单的面型加工牺牲层法
藉由解析模式和有限元素模式的推导，以及数据撷取和分析之程序的撰写，
藉由解析模式和有限元素模式的推导，以及数据撷取和分析之程序的撰写，
便可建立快速 求得薄厚膜性质的实验及分析程序。本计划量测模组所使用之
金相显微镜仪器设备在一般实验室均可方便取得。
金相显微镜仪器设备在一般实验室均可方便取得。
测试结构乃利用简单的面型加工牺牲层法制作，可同时与元件成形在同一基板
上，监测薄厚膜 材料之性质，而且仅占基板空间上非常小的区域。主要是构思
出整个量测模组之架构及操作 方式，针对加热器及试片治具进行设计、分析与
制作，完成整个量测模组的组合安装，之后设计及 制作测试结构，并进而进行
薄厚膜材料性质之实验量测